探针歪斜90%是因为缺乏有效的导向结构(Guide Plate)。仅靠底部的环氧板固定是不够的,必须在探针中间增加一层或多层导向板,限制其径向移动。对于长径比(L/D)大于5的细长探针,导向板尤为重要。设计时要注意导向孔径比探针外径大0.02-0.03mm,太紧会卡死,太松起不到导向作用。如果是双面测试,上下导向板要对齐,确保探针运动轨迹是一条直线。
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